M02400 - SEMI M24 - 鏡面単結晶プレミアムシリコンウェーハの仕様

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本スタンダードは,global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は20061121日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20072月にwww.semi.orgで,そして20073月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1994年発行,前版は200511月に発行された。

本文書が規定するのは,半導体製造工程中におけるパーティクルカウンティング,金属汚染モニター,そしてフォトリソ工程中のパターン解像度測定に使用する公称径150300 mmの未使用プレミアムシリコンウェーハの要求仕様である。プレミアムウェーハは,上記応用のためいくつかの項目においてより厳しい規格値を持ち,その他の項目ではプライムウェーハと同等かより緩やかな規格値を有する。

Referenced SEMI Standards

SEMI M1 — Specifications for Polished Mono-crystalline Silicon Wafers
SEMI M18 — Guide for Developing Specification Forms for Order Entry of Silicon Wafers
SEMI M45 — Provisional Specification for 300 mm Wafer Shipping System
SEMI M59 — Terminology for Silicon Technology

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