M02600 - SEMI M26 - ウェーハの運搬に使用される100 mm,125 mm,150 mm,200 mmウェーハシッピングボックスの再利用ガイド

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本スタンダードは,global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2010827日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201010月に www.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年に発行,前版は20043月に発行された。


本文書は100 mm125 mm150 mm200 mm ウェーハシッピングボックスのリユースに関する,ボックス洗浄業者,ウェーハ供給者,ウェーハ利用者のためのガイドである。


その目的はウェーハ供給者から顧客への100 mm125 mm150 mm200 mmウェーハの輸送に関する総コストを削減することである。


Referenced SEMI Standards

SEMI M31 — Mechanical Specification for Front-Opening Shipping Box Used to Transport and Ship 300 mm Wafers
SEMI M45 — Specification for 300 mm Wafer Shipping System

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