M02900 - SEMI M29 - 300 mmシッピングボックスの仕様

SEMI M29 - 300 mmシッピングボックスの仕様 -

Member Price: $164.00
Non-Member Price: $215.00

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI M29-1296 (Reapproved 1110) - Inactive

Revision

Abstract

本仕様は，Global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されたもので，Japanese Silicon Wafer Committeeが直接責任を負うものである。現版は2003年8月8日Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。2003年9月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2003年11月発行に至る。初版は1996年発行。

この仕様が定義するのは，ウェーハメーカーからICメーカーの製造工場の受け入れドックまでの300 mmウェーハの安全な運搬用容器についてである。

Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Provisional Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E57 — Provisional Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers

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