SEMI M29 - 300 mmシッピングボックスの仕様

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本仕様は,Global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されたもので,Japanese Silicon Wafer Committeeが直接責任を負うものである。現版は200388Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。20039月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,200311月発行に至る。初版は1996年発行。

 

この仕様が定義するのは,ウェーハメーカーからICメーカーの製造工場の受け入れドックまでの300 mmウェーハの安全な運搬用容器についてである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Provisional Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E57 — Provisional Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers

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