SEMI M31 - 300 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様

Volume(s): Equipment Automation Hardware / Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,Silicon Wafer Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年5月3日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年6月にwww.semi.orgで。初版は1998年発行,前版は2007年3月に発行された。

 

本スタンダードは,ウェーハの品質を維持しながら,ウェーハサプライヤから顧客(主にIC製造者)へ300 mm径ウェーハを搬送するのに使用されるフロントオープニングシッピングボックス (front-opening shipping Box: FOSB) を規定する。

 

本スタンダードが意図しているのは,すべてのメカニカルインタフェースにおいて,モジュール性と互換性を確保しながら,技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。しかしながら,射出成型プラスチック製のFOSBが本スタンダードに準拠して製造できるように,そしてそのFOSBがウェーハ輸送,ドアの開閉時においてウェーハ品質を維持するために使用可能なように,本スタンダードは作成されている。

 

本スタンダードが想定しているのは,FOSBがウェーハ製造の最終段階でウェーハが詰められ,受け入れと検査を経て,IC工場内でFOSBからFOUPFOBITあるいはオープンカセットに詰めかえられるまでの工程に使われることであり,IC工場内のプロセス工程で使うことは想定していない。ウェーハは自動化された装置によってFOSBからFOUP,FOBITあるいはオープンカセットに詰め替えられることが望ましい。¶ 5.4に記載のように,購入者側はFOSBのドアを以下のいずれであるかを規定する必要がある。

  1. ¶ 5.4.1記載の手動操作用ドア
  2. ¶ 5.4.2記載の自動開閉用ドア

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E15 — Specification for Tool Load Port
SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E47.1 — Provisional Mechanical Specification for Boxes and Pods Used to Transport and Store 300 mm Wafers
SEMI E57 — Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers
SEMI E62 — Provisional Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)
SEMI E119 — Provisional Mechanical Specification for Reduced-Pitch Front-Opening Box for Interfactory Transport of 300mm Wafers
SEMI M45 — Provisional Standard for 300mm Wafer Shipping System
SEMI S8 — Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00