SEMI M32 - 統計的仕様のガイド -

Abstract

本スタンダードは，global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年11月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年2月にwww.semi.orgで，そして2007年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1998年9月発行，前版は2004年7月に発行された。

本仕様は，ユーザ･サプライヤ間で合意された要求事項をベースにしている。本書には，パラメータ仕様の一部としてリスクレベルを定義する系統的な仕様様式を記載している。このアプローチは，品質改善の成果に焦点を合わせ，サンプリングを減らし，低リスクを維持するために工程能力情報を用いる。確固とした信念を持つて，仕様により検査による品質確保に代わって，工程での品質確保に向けた活動を促進すべきである。

採用された方法が彼等の期待を満足させるために品質レベルを認め，相互に合意することは，供給者およびその顧客にとり重要である。統計的仕様は，これを行う便利な方法を提供する。

統計的仕様は，工程での品質確保に向けた活動を促進するために作成されている。それは，統計的に特性化されている工程に対して最も適切である。これは，有名な製品やあるいは顧客と供給者をより満足させる製品を作り出す統計的分布の形状を目指している。またそれは，現在のニーズに合致することが必要なレベルに対して，工程の統計的管理および計測システムが決定されることを意味している。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI M1 — Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers
SEMI M18 — Format for Silicon Wafer Specification Form for Order Entry
SEMI M57 — Guide for Specifying Silicon Annealed Wafers
SEMI M59 — Terminology for Silicon Technology
SEMI M61 — Specification for Silicon Epitaxial Wafers with Buried Layers
SEMI M62 — Specifications for Silicon Epitaxial Wafers

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