M03400 - SEMI M34 - SIMOXウェーハを規定するための指針

SEMI M34 - SIMOXウェーハを規定するための指針 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $180.00

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI M34-0299 - Superseded

Revision

Abstract

この指針は，半導体装置の製造に用いられる厚さ0.5 μm以下のシリコンフィルムを持つSIMOX（酸素の注入による分離）ウェーハの仕様のためのものである。これらの仕様は，SIMOX SOIウェーハの包括的な特性を定めている。計測されたパラメータに対する特定値は，適用のためユーザとサプライヤとの間の合意によって決定される。パラメータ，検査要領及び合格基準を定めることにより，ユーザとサプライヤは共に，一律に製品特性及び品質の要求条件を決めることができる。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI M1 — Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers
SEMI M22 — Specification for Dielectrically Isolated (DI) Wafers

Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

You May also Like