M03600 - SEMI M36 - 低転位密度GaAs基板のエッチピット密度(EPD)測定方法

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本試験方法は,Global Compound Semiconductor Committeeで技術的に承認されたもので,日本地区スタンダード委員会材料部会が直接責任を持つ。現版は1999年3月17日に日本地区スタンダード委員会にて承認された。1999年4月にまずSEMI On Lineで入手可能となり,1999年6月発行に至る。





Referenced SEMI Standards


Related Products
Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00