SEMI M36 - 低転位密度GaAs基板のエッチピット密度(EPD)測定方法

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本試験方法は,Global Compound Semiconductor Committeeで技術的に承認されたもので,日本地区スタンダード委員会材料部会が直接責任を持つ。現版は1999年3月17日に日本地区スタンダード委員会にて承認された。1999年4月にまずSEMI On Lineで入手可能となり,1999年6月発行に至る。

 

 

本文書は,低転位密度GaAsウェーハのエッチピット密度(EPD)を測定する方法を規定する。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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