SEMI M41 - 電源デバイス/IC用シリコン・オン・インシュレーター(SOI)の仕様

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2007425日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20076月にwww.semi.orgで,そして20077月にCD-ROMで入手可能となる。初版は20006月発行,前版は200111月に発行された。

 

本仕様は,半導体パワー用デバイス/IC製造用のシリコン・オン・インシュレーター(SOI)ウェーハに関する要求条件を規定している。試験方法と受入基準を定義することによって,ユーザとサプライヤの両者は製品の特性と品質に関する要求条件を明確にすることができる。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI M1 — Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers
SEMI M34 — Guide for Specifying SIMOX Wafers
SEMI M53 — Practice for Calibrating Scanning Surface Inspection Systems Using Certified Depositions of Polystyrene Latex Spheres on Unpatterned

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