SEMI M43 - ウェーハナノポトグラフィを報告するためのガイド
Volume(s):
Materials
Language:
Japanese
Type:
Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本ガイドは，Global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されたもので，North American Silicon Wafer Committeeが直接責任を負うものである。現版は11月22日にNorth American Regional Standards Committeeによって承認された。2000年12月にまずwww.semi.orgで入手可能となり，2001年3月に発行に至る。
本ガイドは，シリコンウェーハに関するナノポトグラフィ表面特徴を報告するためのフレームワークを提供する。
Referenced SEMI Standards
SEMI M1 — Specification for Monocrystalline Polished Silicon Wafers
Member Price:
$135.00
Regular price
Non-Member Price:
$180.00