M04300 - SEMI M43 - ウェーハナノポトグラフィを報告するためのガイド

SEMI M43 - ウェーハナノポトグラフィを報告するためのガイド -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI M43-0301 - Superseded

Revision

Abstract

本ガイドは，Global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されたもので，North American Silicon Wafer Committeeが直接責任を負うものである。現版は11月22日にNorth American Regional Standards Committeeによって承認された。2000年12月にまずwww.semi.orgで入手可能となり，2001年3月に発行に至る。

 

本ガイドは，シリコンウェーハに関するナノポトグラフィ表面特徴を報告するためのフレームワークを提供する。

 

　

Referenced SEMI Standards

SEMI M1 — Specification for Monocrystalline Polished Silicon Wafers

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