SEMI M43 - ウェーハナノポトグラフィを報告するためのガイド

Volume(s): Materials

Language: Japanese

Type: Single Standards Download (.pdf)

SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Abstract

本ガイドは，Global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されたもので，North American Silicon Wafer Committeeが直接責任を負うものである。現版は11月22日にNorth American Regional Standards Committeeによって承認された。2000年12月にまずwww.semi.orgで入手可能となり，2001年3月に発行に至る。

本ガイドは，シリコンウェーハに関するナノポトグラフィ表面特徴を報告するためのフレームワークを提供する。

Referenced SEMI Standards

SEMI M1 — Specification for Monocrystalline Polished Silicon Wafers