SEMI M59 - シリコン技術の用語集

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は20101221日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20112月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.org で入手可能となる。初版は20053月発行,前版は20103月に発行された。

 

シリコン技術は集積回路(IC)および半導体デバイス産業の基礎である。シリコンサプライヤと顧客および業界関係者の共通の理解,正しいコミュニケーションを促進するために,この分野で使用される用語を定義する。

 

この用語定義文書は半導体用シリコン結晶およびウェーハに関する用語の定義を取り扱う。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI M1 — Specifications for Polished Single Crystal Silicon Wafers
SEMI M20 — Practice for Establishing a Wafer Coordinate System
SEMI MF1811 — Guide for Estimating the Power Spectral Density Function and Related Finish Parameters from Surface Profile Data

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