M07100 - SEMI M71 - CMOS LSI用シリコン・オン・インシュレーター(SOI)ウェーハのための仕様

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年1月20日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年2月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2007年11月に発行された。

 

本仕様は, CMOS大規模集積回路(LSI large scale integrated circuitデバイス用の薄膜シリコン・オン・インシュレーター(SOI silicon-on-insulator)ウェーハの要求条件を規定するものである。本仕様は,130nm技術ノード以降(65nm45nm等)のLSI200mmおよび300mmウェーハを対象としている。150mmウェーハの場合には,旧来のLSI世代も含まれる。パラメータ,検査手順および受入基準を規定することにより,サプライヤと顧客双方が,製品の特性および品質要求条件を一貫して定義するのがよい。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI M1 — Specifications for Polished Single Crystal Silicon Wafers
SEMI M20 — Practice for Establishing a Wafer Coordinate System
SEMI M35 — Guide for Developing Specifications for Silicon Wafer Surface Features Detected by Automated Inspection

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