SEMI P8 - フォトレジスト中の水分の測定方法

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

 

この方法は,Karl Fischer滴定をフォトレジスト中の水分の測定に適用しようというものである。電気測定法がエンドポイントを測定するのに使用される。この手順は,Karl Fischer試薬や希釈液とは完全に相溶性であるポリマーと溶剤システムからなるレジストに適用できる。レジスト製造者は,この手順が問題のレジストに使用し得るか否かを決定するための相談に応じるべきである。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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