SEMI P11 - アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のテスト方法

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2007年12月20日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年2月にwww.semi.orgで。初版は1991年発行,前版は1997年9月に発行された。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本文書の目的は,アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のテスト方法を提供することである。

 

単一または複数の変曲点に対する電位差計による酸アルカリの滴定は,滴定剤として標準化された塩酸を使用して,自動記録滴定器により達成される。規定度(meq/mL)は滴定器で得られたデータを使用して計算される。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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