SEMI P14 - 黒鉛炉原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト中の錫の測定

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

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この手順は,フォトレジスト中の錫に対する黒鉛炉原子吸光分析法を述べたものである。サンプルが1:10で希釈される場合,適用し得る濃度範囲は0.1から1 ppmである。精度は,4つの研究所間における持ちまわり分析において,0.1 ppm以内であることが分かっている。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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