P01400 - SEMI P14 - 黒鉛炉原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト中の錫の測定

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。



NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.


この手順は,フォトレジスト中の錫に対する黒鉛炉原子吸光分析法を述べたものである。サンプルが1:10で希釈される場合,適用し得る濃度範囲は0.1から1 ppmである。精度は,4つの研究所間における持ちまわり分析において,0.1 ppm以内であることが分かっている。


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