P01800 - SEMI P18 - ウェーハステッパーのオーバーレイ能力

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract


NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

ウェーハステッパーの主要な使用領域,すなわち大規模集積回路の製造の現状と矛盾しないような,ウェーハステッパーのオーバーレイ能力に対する定義が確立された。更に,関連パラメータすなわち,レジストレーション,露光領域,良質領域,及びアライメントの定義も含まれる。

 

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