SEMI P19 - 集積回路製造用メトロロジパターンセル

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Micropatterning Committeeで技術的に承認されている。現版は2007425日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20076月にwww.semi.orgで,そして20077月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1992年発行,前版は1996年に発行された。

 

本スタンダードは,集積回路製造に使用されるマイクロパターニング装置,メトロロジ用器具およびプロセスに対して,量産適用可能な評価およびテスト方法を提供するために,幾つかの標準パターンを規定するものである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI P24 — CD Metrology Procedures

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00