P01900 - SEMI P19 - 集積回路製造用メトロロジパターンセル

SEMI P19 - 集積回路製造用メトロロジパターンセル -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI P19-92 (Reapproved 0707) - Inactive

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Micropatterning Committeeで技術的に承認されている。現版は2007年4月25日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年6月にwww.semi.orgで，そして2007年7月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1992年発行，前版は1996年に発行された。

 

本スタンダードは，集積回路製造に使用されるマイクロパターニング装置，メトロロジ用器具およびプロセスに対して，量産適用可能な評価およびテスト方法を提供するために，幾つかの標準パターンを規定するものである。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI P24 — CD Metrology Procedures

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