SEMI P22 - フォトマスク欠陥の分類とサイズ定義についてのガイドライン -

Abstract

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注意：「Current」のステータスを維持するための条件が現時点で満たされていないため、このスタンダードまたは安全ガイドラインは「Inactive」ステータスとなっています。「Inactive」のスタンダードまたは安全ガイドラインはSEMIから入手可能であり、引き続き有効です。

本ガイドラインは，フォトマスク上の欠陥，およびプログラム欠陥分類法を提示し，さらにサイズの定義を行なう。本文書内では，‘フォトマスク’という言葉のみが使用されているが，‘レチクル’という言葉とも置き換えが可能である。

フォトマスク上の欠陥の分類・呼称・サイズを表現する場合には，本ガイドラインに準ずることが望ましい。

Referenced SEMI Standards (purchase separately)

None.

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