SEMI P26 - フォトレジストの感度測定用パラメータチェックリスト

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本チェックリストは,Global Micropatterning Committeeで技術的に承認されたもので,Japanese Micropatterning Committeeが直接責任を負うものである。現版は2003年4月28日Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。まず,2003年6www.semi.orgで入手可能になり,2003年7月発行に至る。初版は,1996年発行。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

このチェックリストは,フォトレジストのサプライヤおよびユーザの間の差をなくすために,フォトレジスト感度の測定用のパラメータを識別する。

 

本ガイドラインは,ポジレジスト(positive photoresist)を意図している。

 

レジストのサプライヤとユーザとの間の打ち合わせにおいて,数量的な値については,パラメータ毎になされるべきである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI P27 — Parameter Checklist for Resist Thickness Measurement on a Substrate

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Regular price Non-Member Price: $180.00