P02900 - SEMI P29 - 減衰型位相シフトマスク（ハーフトーン型位相シフトマスク）およびマスクブランクスに特有な特性の仕様

SEMI P29 - 減衰型位相シフトマスク（ハーフトーン型位相シフトマスク）およびマスクブランクスに特有な特性の仕様 -

Member Price: $164.00
Non-Member Price: $215.00

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI P29-1105 - Superseded

Revision

Abstract

本仕様は，global Micropatterning Committeeで技術的に承認されている。現版は2005年9月8日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2005年10月にwww.semi.orgで，そして2005年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1997年9月に発行された。

 

注意：　本文書は2005年，全面的に改訂された。

 

本仕様は，減衰型位相シフトマスク（ハーフトーン型位相シフトマスク ； 以下省略）およびマスクブランクスに特有な特性について記載する。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI P1 — Specification for Hard Surface Photomask Substrates
SEMI P22 — Guideline for Photomask Defect Classification and Size Definition

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