SEMI P30 - 寸法測定用走査型電子顕微鏡(CD-SEM)の目録発行の実施要領

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,Global Micropatterning Committeeで技術的に承認されたもので,Japanese Micropatterning Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004年7月23日Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。2004年9月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2004年11月発行に至る。初版は1997年発行。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本実施要領の目的は,寸法走査型電子顕微鏡(CD-SEM)に記載される用語を定義することにある。

 

本文書は,ユーザとサプライヤ間に共通の理解を生み出すために計画されるものである。

 

本実施要領は,CD-SEMの目録に記載される用語に適用される。

 

本実施要領はまた,見積及び購入仕様書に記載される用語にも適用される。

 

Referenced SEMI Standards

None.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00