SEMI P32 - フォトレジスト中のトレースメタル定量のための試験方法

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本試験方法は,Global Micropatterning Committeeで技術的に承認されたもので,Japanese Micropatterning Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004年7月23日Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。2004年8月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2004年11月発行に至る。初版は1998年9月発行。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

このドキュメントは,トレースメタル濃度に関しての定量的な分析方法の概略(outline)を記述する。このスタンダードはユーザとサプライヤとの間のコミュニケーションを促進される事を意図している。

 

このドキュメントは原子吸光分光法,プラズマイオン源質量分光法そして誘導結合プラズマ原子発光分光法のような機器分析によって,フォトレジスト中のトレースメタル濃度をppbレベルで測定する事に対して適用する。

 

この測定での対象金属は,Al,Ca,Cr,Cu,Fe,Mg,Mn,Ni,KそしてNaである。

 

金属を追加したり減じる事は,ユーザとサプライヤ間の合意により,そして測定リストに加える。

 

以下に述べる方法は,対象のトレースメタルのそれぞれに対して指定した値において,トレースメタルの不純物量を決定するのに満足すべき結果を与える。代替の方法あるいは条件は,仕様値の半分の濃度既知サンプルで,75%~125%の(分析での)回収率を適切な研究で証明する限り使う事ができる。その結果は,仕様の範囲内(ある値以下)として,あるいは単に仕様内でないとして報告されるべきである(SEMI C1)。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals

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