SEMI P35 - マイクロリソグラフィメトロロジの用語法

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Micropatterning Committeeで技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommittee2006824日に発行が承認された。200610月にwww.semi.orgで, そして200611月にCD-ROMで入手可能となる。初版は20002月発行,前版は20047月に発行された。

 

明確で普遍的に受入れられる定義が,メトロロジ機器の買手と売手の間で効果的に意思を疎通し誤解を防ぐために必要となる。本書の目的は,マイクロリソグラフィで重要なメトロロジに関する問題を理解し論議するために,一貫性のある用語を提供することである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E89 — Guide for Measurement System Analysis (MSA)
SEMI P28 — Specification for Overlay-Metrology Test Patterns for Integrated-Circuit Manufacture

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