P03600 - SEMI P36 - 測長走査型電子顕微鏡(CD-SEM)用倍率標準試料のガイド

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Micropatterning Committeeで技術的に承認されている。現版は20088 29日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。200810月にwww.semi.orgで,そして200811月にCD-ROMで入手可能となる。初版は20066月に発行,前版は20083月に発行された。

 

本ガイドの目的は,(1) 測長走査型電子顕微鏡(CD-SEM)の倍率校正に用いられる倍率標準試料の共通かつ重要な仕様を規定し,その結果として,(2) 誰にとっても使いやすい倍率標準試料を提供することである。

 

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None.

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