P03600 - SEMI P36 - 測長走査型電子顕微鏡（CD-SEM）用倍率標準試料のガイド

SEMI P36 - 測長走査型電子顕微鏡（CD-SEM）用倍率標準試料のガイド -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI P36-1108 - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Micropatterning Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年8 月29日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年10月にwww.semi.orgで，そして2008年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2006年6月に発行，前版は2008年3月に発行された。

 

本ガイドの目的は，(1) 測長走査型電子顕微鏡（CD-SEM）の倍率校正に用いられる倍率標準試料の共通かつ重要な仕様を規定し，その結果として，(2) 誰にとっても使いやすい倍率標準試料を提供することである。

　

Referenced SEMI Standards

None.

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