P04500 - SEMI P45 - マスク装置向けジョブデック・データフォーマットの仕様

SEMI P45 - マスク装置向けジョブデック・データフォーマットの仕様 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI P45-0708 - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Micropatterning Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年6月にwww.semi.orgで，そして2008年7月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2006年3月に発行された。

 

本スタンダードは，MALYと称するマスク装置向けに共通で使用できる，ジョブデック・データフォーマットの仕様を定義する。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI P39 — OASISTM – Open Artwork System Interchange Standard
SEMI P44 — Specification for Open Artwork System Interchange Standard (OASISTM) Specific to Mask Tools

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