P04600 - SEMI P46 - XMLによるフォトマスクのCD計測情報データの仕様

SEMI P46 - XMLによるフォトマスクのCD計測情報データの仕様 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI P46-0706 - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Micropatterning Committeeで技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommitteeで2006年5月16日に発行が承認された。2006年6月にwww.semi.orgで， そして2006年7月にCD-ROMで入手可能となる。

 

このXMLデータ構造の規格は，フォトマスクの素子寸法（CD）測定装置で使用する共通の入出力フォーマットを定義している。

 

この標準化されたデータ構造を用いる装置サプライヤは，特定のソフトウェアおよびハードウェアに依存することなく送信と受信ができるようにする。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI P10 — Specification of Data Structures for Photomask Orders
SEMI P41 — Specification for Mask Defect Data Handling with Xml, Between Defect Inspection Tools, Repair Tools, and Review Tools

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