SEMI PV3 - 太陽電池加工に用いる高純度水に関するガイド

Volume(s): Photovoltaic
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Photovoltaic Committeeで技術的に承認されている。現版は20091216日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20102月にwww.semi.orgで入手可能となる。

本ガイドは複数の目的で提供される。本ガイドは,高純度水(HPW)装置の新規購入に関する性能基準を設けるための基礎として用いてよい。また,設備エンジニアがHPWシステム運転時のプロセス制御パラメータを設定する目的で内部使用してもよい。さらに,施設によって供給されているHPWの品質について,プロセスエンジニアが合理的な期待を設定する目的で用いてもよい。

Referenced SEMI Standards

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals

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