SEMI PV88 - 惰性气体熔融红外吸收法测定光伏多晶硅中氢含量的测试方法 -

Abstract

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光伏多晶硅含有氢会影响多晶硅铸锭生产过程的安全性和多晶硅锭的品质，而多晶硅锭的品质又与后续太阳能光伏产品的特性和性能密切相关。本测试方法的目的是规范光伏多晶硅中氢含量的测定方案，以利于世界各地实验室之间的测试结果有可比性，可用于光伏多晶硅和其他光伏硅材料的质量监控。

本测试方法适用于分析光伏多晶硅中的氢含量，包括各种类型的光伏多晶硅，例如流化床工艺生产的颗粒多晶硅，光伏多晶硅片和硅块等。

 

基于相同的材料基体和仪器，本测试方法还可用于测定其他硅材料中的氢含量，包括光伏单晶硅，半导体单晶硅和半导体多晶硅，硅原料包括金属硅和硅粉等。

 

本测试方法使用基于惰性气体熔融原理并采用红外检测器测量技术的商用氢分析仪。

 

本方法的测定范围取决于各款氢分析仪的测定范围。对于一款氢分析仪，以质量分数（%, m/m）表示的测定范围因称取样品量的不同而不同。例如，三款商用氢分析仪，第一款氢分析仪的测定范围为氢量0.0001 mg～2.5 mg（即，称取1 g样品的测定范围为质量分数0.00001% (m/m)～0.2500% (m/m)，而称取0.15 g样品的测定范围为质量分数0.00007% (m/m)～1.666% (m/m)）；第二款氢分析仪的测定范围为氢量0.0001 mg～1.0 mg（即，称取1 g样品的测定范围为质量分数0.00001% (m/m)～0.1000% (m/m)，而称取0.15 g样品的测定范围为质量分数0.00007% (m/m)～0.666% (m/m)）；第三款氢分析仪的测定范围为氢量0.00008 mg～2.5 mg（即，称取1 g样品的测定范围为质量分数0.000008% (m/m)～0.2500% (m/m)，而称取0.15 g样品的测定范围为质量分数0.00006% (m/m)～1.666% (m/m)）。

 

适用于分析多种物理形态的硅样品，包括多晶硅的粉末、颗粒、块料，单晶硅片、单晶硅棒和多晶硅片、多晶硅块等。

 

本氢含量测试方法适用于分析添加任何种类和浓度掺杂剂的硅材料。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI PV17 — 用于光伏行业的硅原料规范

SEMI PV22 — 太阳能电池用硅片规范

SEMI PV43 — 惰性气体熔融红外检测法测量硅太阳能电池用光伏硅材料中氧含量的测试方法

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