S00400 - SEMI S4 - 供應櫃內化學品鋼瓶隔離之安全基準

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本準則之技術業經全球環境、衛生及安全委員會核准。此版本由全球稽核及審查小組委員會於2003124日核准出版,並於20042月在www.semi.org發行線上版本,同年3月出版光碟版。初版於1992年發行。

注意:此安全規範於2003年完全重新改寫。

注意:本安全基準中以「註」為標題的段落並非正式內容,不得以此修改或取代正式的安全基準。委員會提供註解內容係為方便本安全基準的使用。

注意委員會產生此文件的意圖是要依循此基準中""執行的規定,而符合使此基準之要求。

此安全基準提供一個方法來決定哪些種類的化學鋼瓶應該被隔離在不同氣體儲存容器櫃內,而哪些可以被放在一起。

此安全基準是設計給半導體相關技術工作或研究的人使用。

此安全基準涉及鋼瓶內因蒸氣壓或使用氣體當作載氣進行傳送而在氣體狀態下被使用的氣體或液體化學品。

此文件範圍包含內容量1000公升()以下的所有種類鋼瓶。

此基準的主要意圖為應用在氣體鋼瓶使用、供應、研究及製造過程。

此安全基準提及使用在迫淨化學管路並以鋼瓶供應的迫淨氣體。

此安全基準提及供應壓力比101.3千帕(一大氣壓)以下的製程化學品鋼瓶。

Referenced SEMI Standards

None.

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