SEMI S4 - 分配キャビネット内に格納される化学物質シリンダの分離のための安全ガイドライン

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本安全ガイドラインは,Global Environmental Health and Safety Committeeで技術的に承認されたもので,North American Environmental Health and Safety Committeeが直接責任を負うものである。現版は2003124日North American Regional Standards Committeeにて承認されている。20042月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,20043月発行に至る。初版は1992年発行。

 

注意: 本安全ガイドラインは2003年全面的に書き換えられた。

 

本安全ガイドラインで提供するのは,独立したガスキャビネットに格納すべき化学物質のタイプおよびガスキャビネット内に一緒に格納できるシリンダ(ボンベ)を決定するための方法である。

 

本安全ガイドラインの目的は,半導体関連技術の作業や研究を実行する人々によって使用されることである。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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