SEMI S5 - ガス用流量制限デバイスのサイズ決定と特定のための安全ガイドライン -
Abstract
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免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
本安全ガイドラインは，Environmental Health & Safety Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2015年12月4日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて承認された。2016年6月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1993年発行，前版は2010年3月に発行された。
この安全ガイドラインの目的は，危険性ガスの運搬，貯蔵，および使用中における放出速度を制限する流量制限デバイス (FLD) に関連する情報および方法を提供するものである。
この安全ガイドラインは，危険性ガスのFLDを取り扱うものである。これらのデバイスは，FLDあるいはその下流で，制御されない放出の流量を制限することを意図している。
この安全ガイドラインは，FLDの上流と下流の圧力比（上流圧/下流圧）が臨界圧力比以上であることに起因する臨界流量において作動するFLDを取り扱うものである。
この安全ガイドラインは，サイズによってFLDを特定する方法を提供する。
この安全ガイドラインは，そのようなデバイスを流れる数種類のガスおよびその混合物の近似最大および最小流量を計算する方法を提供する。
この安全ガイドラインは，アプリケーションに使用するFLDのサイズを，使用ガスおよび必要な流量に基づいて選択する方法を提供する。
Referenced SEMI Standards
SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process
SEMI S26 — Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System
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