S00500 - SEMI S5 - ガス用流量制限デバイスのサイズ決定と特定のための安全ガイドライン

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。



本安全ガイドラインは,Environmental Health & Safety Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2015年12月4日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて承認された。2016年6月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1993年発行,前版は2010年3月に発行された。


この安全ガイドラインの目的は危険性ガスの運搬,貯蔵および使用中における放出速度を制限する流量制限デバイス (FLD) に関連する情報および方法を提供するものである。












Referenced SEMI Standards

SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process
SEMI S26 — Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System

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