SEMI S6 - 半導体製造装置の排気換気に関する環境,健康,安全のためのガイドライン

Volume(s): Safety Guidelines
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.


免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

注意: 本ガイドラインの「すべきである」という規定に適合することが,本文書への適合宣言に必要である。「してもよい」,「勧められる」,「好ましい」,「推奨される」,「注」,「関連情報」への適合は本文書への適合宣言には必要ではない。本安全ガイドラインは,半導体製造装置(SME)の排気換気に対する安全性能基準,およびこれらの基準への適合性を評価するためのテスト方法を提供する。

 

ユーザファシリティ内の排気換気ユーティリティのエネルギー効率および物理的制約が顕著になるにつれ,排気換気の最適化がますます重要になってきている。要員,財産,および環境を健康リスクと安全リスクから保護するために,効率的に設計された排気換気を提供する必要がある。本安全ガイドラインの目的は,排気換気のための性能および設計原理,ならびにテスト方法およびテスト基準を提供することである。


このガイドラインは,ユーザファシリティの排気換気システムに接続しようとする排気換気を組み込んだ半導体製造装置に適用する。

 

本文書の基準は,要員の保護,装置の保護,および火災リスク低減を(その全部または一部の)目的として提供する排気換気システムに適用すべきである。

 

本文書内の性能および評価基準は,サプライヤがユーザに提供する装置,または他のサプライヤがユーザに提供する装置の一部として,サプライヤが提供する装置のすべてに対して適用する。

 

本文書は,半導体製造装置サプライヤが,装置排気換気システムを一般的な一連の性能基準に基づいて設計するのを支援するとともに,ユーザやサプライヤが装置システムに対する排気換気要件を理解する手助けとなることを意図している。設計仕様を確立することは意図していない。

 

テスト方法を§ 8および付属書に記述している。

 

本文書は,サプライヤまたはユーザが採用する危険源評価方法,または危険制御戦略(例えば,設計原理)に制限を加えることは意図しない。十分なレベルの保護が得られるなら,他のさまざまな方法を採用してもよい。


Referenced SEMI Standards

SEMI F5 — Guide for Gaseous Effluent Handling

SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S14 — Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation of Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S22 — Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment

Member Price: $225.00
Regular price Non-Member Price: $300.00