SEMI S12 - 装置の汚染除去に対する環境,健康および安全ガイドライン

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本安全ガイドラインは,global Environmental, Health, & Safety Committeeで技術的に承認されている。現版は20101221日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20112月にwww.semiviews.org およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1998年に発行,前版は20093月に発行された。

 

本文書は,危険物質に曝露されたか,曝露された可能性があり,今後生産での使用を意図される製造装置(ME)および部品の汚染除去のための指針を確立する。今後生産での使用を意図される装置には,再使用,再販売,修理,再生または再配置のため提供される装置も含まれる。

 

本安全ガイドラインは,地域,地区,国家,および国際の規制と組織の政策を適切に考慮して,各現場で採用すべきである。

 

本安全ガイドラインは,個別の状況に存在することがある現実的な限界を認めながら,輸送前に汚染をできる限り除去するのに使用することを目的としている。多くの場合,MEを破壊しなければ,化学的に完全な汚染除去はできないことが認識されている。ME譲渡人は,残存しているすべての既知の潜在的な危険が明確に識別されていることをME譲受人に確保すべきである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI S2 — Environmental, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment


SEMI S16 — Guide for Semiconductor Manufacturing Equipment Design for Reduction of Environmental Impact at End of Life



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