SEMI S12 - 設備除污基準

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本安全基準之技術業經全球環境、衛生與安全委員會核准。本版本係由全球稽核及審查小組委員會於2010年12月21日核准出版,並於2011年2月於www.semiviews.orgwww.semi.org發行線上版本。本基準原始版本於1998年發行,2009年3月再版。

本文件係為針對暴露在危險物質環境中的製造設備建立除污基準,以利後續生產使用。預定用於後續生產使用的設備包括但不限於為再利用、轉售、維修、翻新或重新安置而提供之設備。

各製造現場皆應採用本基準,並適當考量當地、區域、國家及國際的規範和組織政策。

: 使用本安全基準時,建議找尋專業人士幫忙。

本安全基準係確保在製造設備運送移動前,雖受制於個別實務情況之限制,仍儘最大可能地執行除污作業。在許多情況下,必須破壞製造設備才能完整進行化學品除污,製造設備轉讓人(transferor)必須將所有殘存之潛在風險清楚告知受讓人(transferee)。

本基準適用於當設備暴露在危險或有毒物質環境中且可能危害健康或環境時,為轉讓設備或改變安裝位置所進行的準備工作。適用範圍包括但不限於運送前的關機、拆卸、移除、標示與包裝作業。

本基準說明除污文件化及相關殘餘危險通知的最低需求。

對於指定在相同位置重複提供相同服務項目的設備,其除污等級可依照個案情況,由現場環安衛(ESH)單位進行評估。

即使在個別情況下會遇到一些施行上的限制,但仍應依本基準確保運送前的除污作業能達到最佳程度。

Referenced SEMI Standards

SEMI S2 — Environmental, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment


SEMI S16 — Guide for Semiconductor Manufacturing Equipment Design for Reduction of Environmental Impact at End of Life



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