S01300 - SEMI S13 - 製造装置と共に使用することが意図された装置ユーザへの提供文書のための環境，健康，安全ガイドライン

SEMI S13 - 製造装置と共に使用することが意図された装置ユーザへの提供文書のための環境，健康，安全ガイドライン -

Member Price: $164.00
Non-Member Price: $215.00

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI S13-0113 - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Environmental Health & Safety Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年12月20日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2013年1月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1998年発行。前版は2005年3月発行。

　

本安全ガイドラインは，装置の操作，保守および設置に関するリスクを低減するため，製造装置と共に使用することが意図された提供文書（取扱説明書，保守マニュアル，設置マニュアル，安全マニュアル等）に記述される環境，健康，安全情報として考慮すべき事項を述べている。

　

本安全ガイドラインは，装置ユーザが実行すべき作業が記述された装置ユーザへの提供文書を，装置の操作，保守，サービス，インストール，汚染除去，ディコミッショニングの担当者が読むべきであるということを意図している。

　

本安全ガイドラインは，製造，計測，組立，試験のために，装置と共に使用することが意図された装置ユーザへの提供文書に適用される。

　

本安全ガイドラインには次の項目が含まれる。

  • 目的

  • 範囲

  • 制限

  • 参照スタンダードおよび文書

  • 用語

  • 装置ユーザへの提供文書の一般的基準

  • 装置固有の危険性

  • 危険性エネルギーの制御手順

  • 危険警告

  • 作業固有の危険性

  • 材料安全データシート（MSDS: Material Safety Data Sheet）

  • 個人防護具（PPE: Personal Protective Equipment）

  • 装置点検，消耗部品，保守

  • トレーニングに関する要求事項

  • 緊急時の連絡先と対応

　

Referenced SEMI Standards

SEMI S1 — Safety Guideline for Equipment Safety Labels
SEMI S2 — Environmental Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S6 — EHS Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S8 — Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process
SEMI S12 — Environmental, Health and Safety Guideline for Manufacturing Equipment Decontamination
SEMI S14 — Safety Guideline for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S16 — Guide for Semiconductor Manufacturing Equipment Design for Reduction of Environmental Impact at End of Life
SEMI S26 — Environmental Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System

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