SEMI S14 - 半導體製造設備火災風險評估與降低之安全基準

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本安全基準之技術業經全球環境、衛生及安全委員會核准。目前版本已於2009年1月2日獲得全球稽核與審查區域委員會核准,於2009年2月在www.semi.org上發行線上版本,並於2009年3月出版光碟。初版於2002年2月發行。前一次出版時間為2004年7月。

 

注意:本安全基準中以「註」為標題的段落並非正式內容,不得以此修改或取代正式的安全基準。工作小組提供註解內容係為方便本安全基準之使用。

注意:工作小組認為,符合本基準所含「應」字樣的條款即視為符合本基準。

 

本基準提供半導體設備製造商在生產半導體製造設備時應考量之事項,藉以協助他們評估及降低對設備及產品產生火災與燃燒副產物之風險。

 

雖然本基準是以評估工具的角度撰寫,但也適用在半導體製造設備的設計與開發時應採用之工具。

 

設備的使用者或其他相關團體也可使用本基準來評估和比較不同設備在設計上的潛藏風險或是附屬設備的設計、評估或修改。

 

本基準無意指定使用特定的技術(如材料的選擇或偵測系統)來降低火災風險。然而,本基準建議遵循傳統的風險管理層級來降低風險: 去除、工程控制、行政管理、警告與工作實務等。

 

適當的使用本基準可協助產出含有鑑別、分析與評估殘餘火災風險之報告。

 

本基準適用於安裝在潔淨室內之所有製造、測量、封裝與測試半導體產品的相關設備。本基準亦適用於上述設備的所有零組件。

 

若設備內部起火會導致該設備、其他設備、產品或設施損壞,即應適用本文件的火災風險評估。

 

本文件提供了半導體製造設備進行火災風險評估、風險分類及風險降低時應考量之事項。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E10 — Specification for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM)
SEMI E70 — Guide for Tool Accommodation Process
SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S7 — Safety Guidelines for Environmental, Safety, and Health (ESH) Evaluation of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process

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