S01600 - SEMI S16 - 半導體製造設備壽命終了階段減少環境衝擊的設計基準

SEMI S16 - 半導體製造設備壽命終了階段減少環境衝擊的設計基準 -

Member Price: $138.00
Non-Member Price: $180.00

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI S16-0307 - Superseded

Revision

Abstract

本基準之技術業經全球環境、衛生及安全委員會核准。此版本由全球稽核及審查小組委員會於2006年11月21日核准出版，並於2007年2月在www.semi.org發行線上版本，同年3月出版光碟版。初版於2000年6月發行。

注意：本文件於2007年全面重新編寫。

本文件係在提供半導體製造設備（SME）的設計基準，以期盡可能減少設備或其零組件在壽命終了時對環境的影響。

本基準提供設計考量事項，以期盡可能減少SME或其零組件在壽命終了處理階段對環境的影響。

本基準提供設計考量事項，以鼓勵回收利用SME或其零組件。

本基準包含下列章節：

  • 目的

  • 範圍

  • 限制

  • 參考標準及文件

  • 詞彙

  • 一般概念

  • 材料選擇

  • 辨識再利用性或再循環性

  • 符合再利用性或再循環性的設計

  • 設備供應商應準備的文件

Referenced SEMI Standards

SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S12 — Guidelines for Equipment Decontamination
SEMI S13 — Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use with Semiconductor Manufacturing Equipment

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