SEMI S16 - 半導體製造設備壽命終了階段減少環境衝擊的設計基準

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本基準之技術業經全球環境、衛生及安全委員會核准。此版本由全球稽核及審查小組委員會於2006年11月21日核准出版,並於2007年2月在www.semi.org發行線上版本,同年3月出版光碟版。初版於2000年6月發行。

注意:本文件於2007年全面重新編寫。

本文件係在提供半導體製造設備(SME)的設計基準,以期盡可能減少設備或其零組件在壽命終了時對環境的影響。

本基準提供設計考量事項,以期盡可能減少SME或其零組件在壽命終了處理階段對環境的影響。

本基準提供設計考量事項,以鼓勵回收利用SME或其零組件。

本基準包含下列章節:

  • 目的
  • 範圍
  • 限制
  • 參考標準及文件
  • 詞彙
  • 一般概念
  • 材料選擇
  • 辨識再利用性或再循環性
  • 符合再利用性或再循環性的設計
  • 設備供應商應準備的文件

Referenced SEMI Standards

SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S12 — Guidelines for Equipment Decontamination
SEMI S13 — Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use with Semiconductor Manufacturing Equipment

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