S01600 - SEMI S16 - 製品寿命時の環境影響を削減するための半導体製造装置設計ガイド

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。


本スタンダードは,Environmental Health & Safety Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年6月18日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年8月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年6月発行,前版は2007年3月発行。


注意: 本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。


NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.


本書は,製品の寿命が尽きた際の半導体製造装置 (SME) またはそのコンポーネントの環境への影響を最小限にするための設計上の指針となるものである。


本ガイドには,半導体製造装置 (SME) またはそのコンポーネントの製品寿命が尽きた際に廃棄されることによる環境への影響を最小限にするための設計上の考慮事項が記されている。


本ガイドには,半導体製造装置 (SME) またはそのコンポーネントの再利用またはリサイクルを促進するための設計上の考慮事項が記されている。



  • 目的
  • 範囲
  • 制限
  • 参照スタンダードおよび文書
  • 用語
  • 一般概念
  • 材料の選択
  • 再利用またはリサイクルの可能性の特定
  • 再利用可能またはリサイクル可能な設計
  • 装置サプライヤが提供すべき文書


Referenced SEMI Standards

SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S12 — Guidelines for Equipment Decontamination
SEMI S13 — Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use with Semiconductor Manufacturing Equipment

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