SEMI S17 - 無人搬送台車(UTV)システムの安全ガイドライン

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本安全ガイドラインは,無人搬送台車(UTV)システムに関する安全への配慮事項をまとめたものである。UTVシステムは,半導体またはフラットパネルディスプレイ(FPD)の工場または研究所で材料の移動を自動化するために使用される。UTVシステムには,床上走行台車(FTVfloor traveling vehicle)システムと空間走行台車(OTVoverhead traveling vehicle)システムの両方が含まれる。


本安全ガイドラインは半導体またはFPD製造で使用されるUTVおよびUTVシステムに適用される。

 

本安全ガイドラインは床上走行と空間走行の両方のUTVおよびUTVシステムを取り扱う。FTVシステムには,自動誘導搬送台車(AGV: automated guided vehicle)システムと軌道誘導搬送台車(RGV: rail guided vehicle)システムが含まれる。OTVシステムには,空間搬送シャトル(OHS: overhead shuttle)システムや,ホイスト式空間搬送台車(OHT: overhead hoist transport)システムが含まれる。

 

本文書への適合評価は,UTVおよびUTVシステムすべてを対象とすべきであり,これにはレール,制御盤,電源盤,メンテナンス/サービス作業スペースからOHTOHSを移動するリフター等の他に,UTVの運転, メンテナンスあるいはサービスに必要なあらゆる装置が含まれる。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface
SEMI E84 — Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface
SEMI S1 — Safety Guideline for Equipment Safety Labels
SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S8 — Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process
SEMI S13 — Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use with Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S22 — Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S26 — Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System

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