SEMI S17 - 無人搬送台車（UTV）システムの安全ガイドライン -

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本安全ガイドラインは，無人搬送台車（UTV）システムに関する安全への配慮事項をまとめたものである。UTVシステムは，半導体またはフラットパネルディスプレイ（FPD）の工場または研究所で材料の移動を自動化するために使用される。UTVシステムには，床上走行台車（FTV：floor traveling vehicle）システムと空間走行台車（OTV：overhead traveling vehicle）システムの両方が含まれる。

本安全ガイドラインは半導体またはFPD製造で使用されるUTVおよびUTVシステムに適用される。

本安全ガイドラインは床上走行と空間走行の両方のUTVおよびUTVシステムを取り扱う。FTVシステムには，自動誘導搬送台車（AGV: automated guided vehicle）システムと軌道誘導搬送台車（RGV: rail guided vehicle）システムが含まれる。OTVシステムには，空間搬送シャトル（OHS: overhead shuttle）システムや，ホイスト式空間搬送台車（OHT: overhead hoist transport）システムが含まれる。

本文書への適合評価は，UTVおよびUTVシステムすべてを対象とすべきであり，これにはレール，制御盤，電源盤，メンテナンス/サービス作業スペースからOHTやOHSを移動するリフター等の他に，UTVの運転, メンテナンスあるいはサービスに必要なあらゆる装置が含まれる。