SEMI S17 - 無人搬送台車(UTV)システムの安全ガイドライン

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Environmental Health & Safety Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は20121220日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20131月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2001年発行。前版は20113月発行。

 

本安全ガイドラインは,無人搬送台車(UTV)システムに関する安全への配慮事項をまとめたものである。UTVシステムは,半導体またはフラットパネルディスプレイ(FPD)の工場または研究所で材料の移動を自動化するために使用される。UTVシステムには,床上走行台車(FTV floor traveling vehicle)システムと空間走行台車(OTV overhead traveling vehicle)システムの両方が含まれる。

 

本安全ガイドラインは半導体またはFPD製造で使用されるUTVおよびUTVシステムに適用される。

 

本安全ガイドラインは床上走行と空間走行の両方のUTVおよびUTVシステムを取り扱う。FTVシステムには,自動誘導搬送台車(AGV: automated guided vehicle)システムと軌道誘導搬送台車(RGV: rail guided vehicle)システムが含まれる。OTVシステムには,空間搬送シャトル(OHS: overhead shuttle)システムや,ホイスト式空間搬送台車(OHT: overhead hoist transport)システムが含まれる。

 

本文書への適合評価は,UTVおよびUTVシステムすべてを対象とすべきであり,これにはレール,制御盤,電源盤,メンテナンス/サービス作業スペースからOHTOHSを移動するリフター等の他に,UTVの運転, メンテナンスあるいはサービスに必要なあらゆる装置が含まれる。

 

この文書は次の項目を含んでいる。

  • 目的
  • 範囲
  • 制限
  • 参照スタンダードおよび文書
  • 用語
  • 一般規定
  • マニュアル
  • 建物とのインタフェース
  • 人間工学と人的要因
  • 地震対策
  • UTVシステムの危険領域における傷害防止設計
  • 衝突対策
  • 緊急操作
  • 手動操作
  • メンテナンスとサービス
  • 半導体またはFPD製造装置の自動搬送機との インタフェース
  • UTVが把持する荷からの保護
  • 危険の表示
  • 危険材料
  • 関連文書

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port
SEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface
SEMI E84 — Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface
SEMI S1 — Safety Guideline for Equipment Safety Labels
SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S8 — Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process
SEMI S13 — Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use with Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S22 — Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S26 — Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00