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SEMI S18 - 可燃性シリコン化合物の環境，健康，安全に関するガイドライン -
Abstract
本安全ガイドラインは，global Environmental Health & Safety Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年3月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2002年11月発行。
注意: 本文書は，2011年，全面的に書き換えられた。
本安全ガイドラインは，供給から除害まで，可燃性シリコン化合物の貯蔵，取り扱い，および使用に関する最低限の安全および健康の基準となることを目的とする。
本安全ガイドラインは，半導体，FPD，PV製造装置，および処理のために可燃性シリコン化合物を使用するその他の装置に関する最低限の安全および健康の基準となることも目的とする。
本安全ガイドラインの範囲内となる可燃性シリコン化合物を，表1に示す。
Referenced SEMI Standards
SEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components
SEMI F5 — Guide for Gaseous Effluent Handling
SEMI F6 — Guide for Secondary Containment of Hazardous Gas Piping Systems
SEMI S1 — Safety Guideline for Equipment Safety Labels
SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S4 — Safety Guideline for the Separation of Chemical Cylinders Contained in Dispensing Cabinets
SEMI S5 — Safety Guideline for Sizing and Identifying Flow Limiting Devices for Gas Cylinder Valves
SEMI S6 — EHS Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process
SEMI S13 — Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use with Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S14 — Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment
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