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SEMI S21 - 作業者保護のための安全ガイドライン -
Abstract
本スタンダードは，global Environmental Health & Safety Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年2月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年10月発行。前版は2007年2月発行。
注意： 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。
本安全ガイドラインは，半導体またはFPD製造装置ならびにその近傍での作業の実施に際し，健康および安全上の危険から作業者を保護する好ましい方法を特定する。
本安全ガイドラインを記述するのは，作業者が作業現場で遭遇する可能性のある，危険エネルギー，物理的危険，危険化学薬品等の危険に対する保護方法である。
本安全ガイドラインが意図しているのは，半導体またはFPD製造装置ならびにその近傍で作業する，すべての作業者を保護するために考慮すべきことを推奨することである。
本安全ガイドラインは，装置サプライヤおよび装置ユーザに適用され，半導体またはFPD製造に関連する活動，および装置，プロセス開発活動が範囲に含まれるものとする。
本安全ガイドラインは以下の項を含む。
1 目的
2 範囲
3 制限
4 参照スタンダードおよび文書
5 用語
6 作業者保護全般
7 化学薬品の危険
8 危険エネルギーの切離し
9 危険電圧ないしは危険電気エネルギーに対する活線作業
10 放射線，または電磁波，レーザー等を発生する装置
11 物理的危険
- 保護具
- 緊急事態への対策と異常事態の管理
Referenced SEMI Standards
SEMI F34 — Guide for Liquid Chemical Pipe Labeling
SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S8 — Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S13 — Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use with Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S19 — Safety Guideline for Training of Semiconductor Manufacturing Equipment Installation, Maintenance and Service Personnel
SEMI S24 — Safety Guideline for Multi-Employer Work Areas
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