SEMI S23 - 半導体製造装置で使用されるエネルギー,ユーティリティ,および材料の保全のためのガイド

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Environmental Health & Safety Committeeで技術的に承認されている。現版は201123日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20113月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は20053月発行,前版は20087月に発行された。

 

本ガイドでは,半導体製造装置で使用するエネルギー,ユーティリティ,および材料の保全に関するコンセプトを取り上げる。

 

本ガイドでは,半導体製造装置におけるエネルギー,ユーティリティ,および材料の使用に関する測定を取り上げる。

 

エネルギー,ユーティリティ,および材料の保全を促進するため,本ガイドでは,半導体製造装置におけるエネルギー,ユーティリティ,および材料の使用に関する継続的な改善計画を取り上げる。

 

本ガイドでは,一連のオプションや説明事項を通して,エネルギー,ユーティリティ,および材料の保全のために利用できる技術についてユーザの知識向上を図る。ユーティリティと材料の使用測定のための,あるいは使用測定を等価エネルギーに換算するための特定の実行手順を提案する。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E6 — Guide for Semiconductor Equipment Installation Documentation


SEMI S2 — Environment, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment



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Regular price Non-Member Price: $180.00