SEMI S23 - 半導體製造設備之能源、電力、原料節約基準

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本基準之技術業經全球環境、衛生與安全委員會核准,目前版本由全球稽核及審查小組委員會於2005年5月20日核准出版,並於2005年6月在www.semi.org發行線上版本,2005年7月發行光碟版。初版於2005年3月發行,2005年07月預定公開。

 

本基準說明半導體製造設備之能源、電力及原料的節約概念。

 

本基準說明半導體製造設備之能源、電力及原料的使用方法。

 

本基準並說明半導體製造設備之能源、電力及原料使用的持續改善,以促進能源、電力及原料的節約。

 

本基準提供一系列的選擇與說明,旨在協助讀者瞭解能源、電力及原料節約技術。本基準亦提供電力與原料使用率測量,以及將測量值換算成等效能源的方法建議。

 

本基準旨在作為半導體製造設備的能源、電力與原料節約分析之工具。

 

本基準亦提供半導體設備的能源、電力與原料的使用率及耗量降低情形通報之方法。

 

本基準建議使用能源的當量值,以方便量化與SME相關的整體能源消耗與節約,且有助於規劃能源節約方法。

 

本基準僅著重設備壽命週期內的使用階段,且未涵蓋所有電力與原料相關議題。

 

本基準亦對電力與原料的使用率和能源節約設有驗證與改善之目標。

 

本基準包含下列章節:

  • 目的

  • 範圍

  • 限制

  • 參考標準

  • 詞彙

  • 一般概念

  • 能源使用的壽命週期評估(LCA

  • 基線製程

  • 測量電力與原料使用率

  • 等效能源的換算係數

  • 設定目標與改善

  • 監測與通報

  • 相關文件

 

Referenced SEMI Standards

SEMI S2 — Environment, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI E6 — Guide for Semiconductor Equipment Installation Documentation

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