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SEMI S25 - 過氧化氫貯存及搬運系統之安全基準 -
Abstract
本安全基準是由全球環境、衛生與安全委員會核准。此版本在2006年5月16日由全球稽核審閱次委員會認可及發行。並於2006年6月在www.semi.org發行線上版本，同年7月發行光碟版。
注意：本安全基準中以「註」為標題的段落並非正式內容，不得以此修改或取代正式的安全基準。
本基準係針對半導體與平面顯示器產業之過氧化氫貯存、處理設備及系統設定最低的安全與衛生標準。
本安全基準所指的過氧化氫（H2O2）濃度是指在半導體及平面顯示器產業常用的濃度（例如：濃度低於40% w/w）。
本安全基準著重於半導體或平面顯示器工廠內部過氧化氫的貯存、處理、運送及輸送作業。
本安全基準包括下列章節：
- 目的（第1節）
- 範圍（第2節）
- 限制（第3節）
- 參考標準及文件（第4節）
- 詞彙（第5節）
- 安全原則（第6節）
- 一般原則（第7節）
- 教育訓練（第8節）
- 緊急應變（第9節）
- 材料、零組件及結構（第10節）
- 貯存（第11節）
- 操作（第12節）
- 輸送系統及模組／輔助設備（第13節）
Referenced SEMI Standards
SEMI S2 — Environmental, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment
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