S02500 - SEMI S25 - 過氧化氫貯存及搬運系統之安全基準

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本安全基準是由全球環境、衛生與安全委員會核准。此版本在2006年5月16日由全球稽核審閱次委員會認可及發行。並於2006年6月在www.semi.org發行線上版本,同年7月發行光碟版。

 

注意:本安全基準中以「註」為標題的段落並非正式內容,不得以此修改或取代正式的安全基準。

 

本基準係針對半導體與平面顯示器產業之過氧化氫貯存、處理設備及系統設定最低的安全與衛生標準。

 

本安全基準所指的過氧化氫(H2O2)濃度是指在半導體及平面顯示器產業常用的濃度(例如:濃度低於40% w/w)。

 

本安全基準著重於半導體或平面顯示器工廠內部過氧化氫的貯存、處理、運送及輸送作業。

 

本安全基準包括下列章節:

  • 目的(第1節)
  • 範圍(第2節)
  • 限制(第3節)
  • 參考標準及文件(第4節)
  • 詞彙(第5節)
  • 安全原則(第6節)
  • 一般原則(第7節)
  • 教育訓練(第8節)
  • 緊急應變(第9節)
  • 材料、零組件及結構(第10節)
  • 貯存(第11節)
  • 操作(第12節)
  • 輸送系統及模組/輔助設備(第13節)

 

Referenced SEMI Standards

SEMI S2 — Environmental, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment

Related Products
Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

Member Price: $113.00
Regular price Non-Member Price: $150.00