S02500 - SEMI S25 - 過酸化水素の貯蔵および取り扱いのための安全ガイドライン

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本スタンダードは,global Environmental Health & Safety Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は20121220日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20132月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は20066月発行。

注意: 「注」の表題のついた段落は,本文書の公式な一部ではなく,また本ガイドラインの内容の変更や書き換えを意図したものではない。


本安全ガイドラインは,半導体業界とFPD業界で一般に用いられる過酸化水素(H2O2)の濃度(すなわち40% w/w未満の濃度)を対象とする。



  • 目的 §1
  • 範囲 §2
  • 制限 §3
  • 参照スタンダードおよび文書 §4
  • 用語 §5
  • 安全に対する考え方 §6
  • 一般原則 §7
  • 教育およびトレーニング §8
  • 緊急時の対応 §9
  • 材料,コンポーネント,構造(§10
  • 貯蔵 §11
  • 運用(§12
  • 分配システムとモジュール/補助装置(§13

Referenced SEMI Standards

SEMI S2 — Environmental, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process

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