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SEMI S25 - 過酸化水素の貯蔵および取り扱いのための安全ガイドライン -
Abstract
本スタンダードは，global Environmental Health & Safety Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年12月20日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2013年2月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2006年6月発行。
注意： 「注」の表題のついた段落は，本文書の公式な一部ではなく，また本ガイドラインの内容の変更や書き換えを意図したものではない。
本安全ガイドラインは，半導体業界とフラットパネルディスプレー（FPD）業界において過酸化水素の貯蔵および取り扱いのための装置やシステムに適用する最低限の安全衛生基準を示すものである。
本安全ガイドラインは，半導体業界とFPD業界で一般に用いられる過酸化水素（H2O2）の濃度（すなわち40% w/w未満の濃度）を対象とする。
本安全ガイドラインでは，主として半導体およびフラットパネルディスプレー関連施設内における過酸化水素の貯蔵，取り扱い，輸送，分配を扱う。
本安全ガイドラインは，以下の内容が記載されている：
- 目的 （§1）
- 範囲 （§2）
- 制限 （§3）
- 参照スタンダードおよび文書 （§4）
- 用語 （§5）
- 安全に対する考え方 （§6）
- 一般原則 （§7）
- 教育およびトレーニング （§8）
- 緊急時の対応 （§9）
- 材料，コンポーネント，構造（§10）
- 貯蔵 （§11）
- 運用（§12）
- 分配システムとモジュール/補助装置（§13）
Referenced SEMI Standards
SEMI S2 — Environmental, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process
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