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SEMI S28 - 針對預計應用於半導體生產設備之機器人與之安全指導方針 -
Abstract
本安全指導方針由全球環境、衛生及安全技術委員會(Environmental Health & Safety Technical Committee)技術核可，本版於2011年9月12日由全球審核與覆檢小組委員會核可，自2011年10月起可以於www.semiviews.org及www.semi.org取得。
注意：段落標示為"註"者不屬於本指導方針之正式部分，亦非用以更改或取代正式指導方針。該部份為委員會補充，以增強本指導方針的應用性。
注意：在此指導方針中所稱"應該"條款之一致性必須宣告與本文件之一致性，所稱"可能"、"建議"、"首選"、"推薦"、"注意"或"相關資訊"條款則並不一定要宣告其一致性。
本安全指導方針針對預計整合至半導體生產設備(SME)之承載埠與晶圓搬運裝卸機器人，提供以效能與設計為基礎的安全考量。
本安全指導方針在SEMI S2所涵蓋的一般範圍外，提供額外指示予承載埠與晶圓搬運裝卸機器人製造商。
本安全指導方針涵蓋預計整合至SME之承載埠與晶圓搬運裝卸機器人之基本安全問題，但可能未涵蓋工業機器人之其他適用安全指導方針與標準。
本安全指導方針於整合前提供安全評估指示予承載埠與晶圓搬運裝卸機器人。
本安全指導方針協助SME承載埠與晶圓搬運裝卸機器人設計師預先考慮整合期間會產生的安全考量。
本安全指導方針指示承載埠與晶圓搬運裝卸機器人供應商予涉及整合者所需關於其完成SME系統安全評估之文件內容。
本安全指導方針適用於依供應商之意圖製造，並整合至半導體製造設備之氣動與真空晶圓搬運裝卸機器人。
本安全指導方針適用於與前開式晶圓傳送盒(FOUP)、標準機械介面(SMIF)傳送盒連接之承載埠與晶圓匣，及此類將整合至半導體生產設備者。
本安全指導方針包含工業機器人之安全標準以外所附加之安全考量。
本安全指導方針適用於獨立於SME外所評估之晶圓搬運裝卸機器人與承載埠。
§8中的文件條款將適用於本安全指導方針發行後所售出之承載埠與晶圓搬運裝卸機器人，無論其設計或開發日期為何。
本文件包含下列部分：
1. 目的
2. 範疇
3. 限制條件
4. 參考標準與文件
5. 專門用語
6. 一般考量
7. WHR(晶圓搬運裝卸機器人)與承載埠之安全特性
8. 提供給整合者之資訊
Referenced SEMI Standards
SEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers SEMI E19.4 — 200 mm Standard Mechanical Interface (SMIF) SEMI E62 — Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS) SEMI E63 — Mechanical Specification for 300 mm Box Opener/Loader to Tool Standard (BOLTS-M) Interface SEMI E92 — Specification for 300 mm Light Weight and Compact Box Opener/Loader to Tool-Interoperability Standard (BOLTS/Light) SEMI E100 — Specification for a Reticle SMIF Pod (RSP) Used to Transport and Store 6 inch or 230 mm Reticles SEMI E117 — Specification for Reticle Load Port SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process SEMI S17 — Safety Guideline for Unmanned Transport Vehicle (UTV) Systems SEMI S22 — Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI S26 — Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System
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