S02900 - SEMI S29 - フッ素系温室効果ガス(F-GHG)排出の特性評価と削減に関するガイド

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。


本スタンダードは,Environmental, Health & Safety Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年6月18日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年7月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。


NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.


本書は,製造装置 (ME) から排出されるフッ素系温室効果ガス (F-GHG) の特性を評価するためのガイダンスを提供する。


本書は,抑制ツールのF-GHG破壊除去効率 (DRE) の特性を評価するためのガイダンスを提供する。




本ガイドが適用される温室効果ガス (GHG) は,CF4, C2F6, C3F8, c-C4F8, CHF3, SF6, NF3である。













  • 目的
  • 範囲
  • 制限
  • 参照スタンダードおよび文書
  • 用語
  • 一般条項
  • ベースラインレシピ
  • 測定機器
  • F-GHG排出の測定と特性評価
  • F-GHG排出特性評価の時期と頻度
  • 報告書
  • 特性評価したデータの記録管理
  • ロードマップと継続的改善


Referenced SEMI Standards

SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S23 — Guide for Conservation of Energy, Utilities and Materials Used by Semiconductor Manufacturing Equipment

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