SEMI S29 - 針對含氟溫室氣體(F-GHG)排放特性描述與減量之指導書

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本標準由全球環境、衛生及安全技術委員會(Environmental Health & Safety Technical Committee)技術核可,本版於2012年6月18日由全球審核與覆檢小組委員會核可,2012年7月間可以於www.semiviews.org及www.semi.org取得。

 

本文件提供指導用以評估由製造設備(ME)所排放的含氟溫室氣體(F-GHG)。

 

本文件提供指導用以評估尾氣處理設備對F-GHG破壞或去除效率(DRE)。

 

本文件也提出製造設備或尾氣處理設備排放減量之持續改善計畫。

 

適用於本指引的溫室氣體(GHG)為CF4,C2F6,C3F8,c-C4F8,CHF3,SF6與NF3

 

本指引應用於製造設備的F-GHG排放評估。

 

本指引應用於尾氣處理設備的F-GHG排放評估。

 

本指引應用於製造設備在化學反應後,F-GHG的消耗、殘留物、副產品或重組之評估。

 

本指引適用於尾氣處理設備對F-GHG之去除效率(DRE)規格。

 

建議至少半導體、TFT-LCD、太陽光電產業使用本指引。

 

本指引包含下列段落:

  • 目的
  • 範疇
  • 限制條件
  • 參考標準與文件
  • 專門用語
  • 通用條款
  • 基礎配方
  • 量測儀器
  • F-GHG排放的量測與評估
  • F-GHG排放評估的時機與頻率
  • 報告
  • 評估資料的保存紀錄
  • 里程圖與持續改善

 

Referenced SEMI Standards

SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S23 — Guide for Conservation of Energy, Utilities and Materials Used by Semiconductor Manufacturing Equipment

Related Products
Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

Member Price: $113.00
Regular price Non-Member Price: $150.00