S02900 - SEMI S29 - 針對含氟溫室氣體(F-GHG)排放特性描述與減量之指導書

SEMI S29 - 針對含氟溫室氣體(F-GHG)排放特性描述與減量之指導書 -

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Volume(s): Safety Guidelines
Language: Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
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Revision: SEMI S29-0712 - Inactive

Revision

Abstract

本標準由全球環境、衛生及安全技術委員會(Environmental Health & Safety Technical Committee)技術核可，本版於2012年6月18日由全球審核與覆檢小組委員會核可，2012年7月間可以於www.semiviews.org及www.semi.org取得。

　

本文件提供指導用以評估由製造設備(ME)所排放的含氟溫室氣體(F-GHG)。

　

本文件提供指導用以評估尾氣處理設備對F-GHG破壞或去除效率(DRE)。

　

本文件也提出製造設備或尾氣處理設備排放減量之持續改善計畫。

　

適用於本指引的溫室氣體(GHG)為CF4，C2F6，C3F8，c-C4F8，CHF3，SF6與NF3。

　

本指引應用於製造設備的F-GHG排放評估。

　

本指引應用於尾氣處理設備的F-GHG排放評估。

　

本指引應用於製造設備在化學反應後，F-GHG的消耗、殘留物、副產品或重組之評估。

　

本指引適用於尾氣處理設備對F-GHG之去除效率(DRE)規格。

　

建議至少半導體、TFT-LCD、太陽光電產業使用本指引。

　

本指引包含下列段落：

  • 目的

  • 範疇

  • 限制條件

  • 參考標準與文件

  • 專門用語

  • 通用條款

  • 基礎配方

  • 量測儀器

  • F-GHG排放的量測與評估

  • F-GHG排放評估的時機與頻率

  • 報告

  • 評估資料的保存紀錄

  • 里程圖與持續改善

　

Referenced SEMI Standards

SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S23 — Guide for Conservation of Energy, Utilities and Materials Used by Semiconductor Manufacturing Equipment

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