SEMI S29 - 불소계 온실가스(F-GHG) 배출 특성 표시 및 저감을 위한 가이드

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Korean
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

표준은 글로벌 환경, 보건 안전 기술 위원회(Environmental, Health & Safety Committee) 기술 승인을 받았다. 버전은 글로벌 감사 평가 소위원회(Audits and Reviews Subcommittee) 2012 6 18일에 간행을 승인했으며 2012 7월부터 www.semiviews.org www.semi.org에서 제공된다.

 

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주의:

한글본은 참고용으로, 영문원본과 한글본간에 차이가 발생할 경우, 영문원본을 우선으로 해야합니다. 한글본에 대한 문의사항이 있는 경우 krstandards@semi.org.문의바랍니다.

 

문서는 제조 장비(ME)에서 배출되는 불소계 온실가스(F-GHG) 특성을 표시하기 위한 가이드를 제공한다.

 

문서는 저감 설비(abatement tool) F-GHG 처리 효율(DRE) 특성을 표시하기 위한 가이드를 제공한다.

 

또한 문서에서는 ME 또는 저감 설비(abatement tool)에서 배출량 저감을 위한 지속적인 개선 계획에 대해서도 다룬다.

 

가이드가 적용되는 온실가스(GHG) CF4, C2F6, C3F8, c-C4F8, CHF3, SF6 NF3이다.

 

가이드는 ME F-GHG 배출 특성 표시에 적용된다.

 

가이드는 저감 설비(abatement tool) F-GHG 배출 특성 표시에도 적용된다.

 

가이드는 ME에서 발생하는 화학 반응을 통한 F-GHG 소비량, 잔류물, 부산물 또는 재결합에 대한 특성 표시에 적용된다.

 

가이드는 F-GHG DRE 저감 설비(abatement tool) 사양에 적용된다.

 

적어도 반도체, TFT-LCD, 태양광전지 산업에는 가이드를 활용하는 것이 바람직하다.

 

가이드에 포함된 섹션은 다음과 같다.

  • 목적
  • 범위
  • 제한 사항
  • 참조 표준 문서
  • 용어
  • 일반 조항
  • 기준 레시피
  • 측정 기구
  • F-GHG 배출의 측정 특성 표시
  • F-GHG 배출 특성 표시의 시기 빈도
  • 보고
  • 특성이 표시된 데이터 기록 보존
  • 로드맵 지속적인 개선

 

Referenced SEMI Standards

SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S23 — Guide for Conservation of Energy, Utilities and Materials Used by Semiconductor Manufacturing Equipment

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